3個(gè)問題,帶你了解半導(dǎo)體與超純水制備
你知道半導(dǎo)體的用途都有哪些嗎?
半導(dǎo)體作為一種在常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料,主要應(yīng)用在集成電路、通信設(shè)備、光伏發(fā)電和大功率電源等行業(yè)中。
半導(dǎo)體是如何生產(chǎn)的?
半導(dǎo)體的生產(chǎn)需要經(jīng)過晶圓制備與清洗、沉積、光刻、蝕刻、摻雜、清洗等步驟。并且在這一系列的工序中需要應(yīng)用到超純水進(jìn)行清洗,超純水的品質(zhì)被嚴(yán)格要求著。
半導(dǎo)體制造中的需要的超純水如何制備?
這類超純水需要專業(yè)的設(shè)備來進(jìn)行產(chǎn)出,我們稱之為超純水設(shè)備,該設(shè)備主要有5個(gè)主要系統(tǒng)組成,具體如下:
1、預(yù)處理系統(tǒng),原水增壓泵出口至多介質(zhì)過濾器進(jìn)水管路采用UPVC材質(zhì)。
2、超濾系統(tǒng),根據(jù)原水水質(zhì)、系統(tǒng)回收率及產(chǎn)水量等因素確定膜組件的組合方式。
3、反滲透裝置,反滲透裝置壓力容器的數(shù)量、排列方式及運(yùn)行壓力由供方根據(jù)根據(jù)實(shí)際原水水質(zhì)報(bào)告及進(jìn)水量或產(chǎn)水量計(jì)算確定。
4、EDI系統(tǒng),EDI模塊型號的選擇由EDI系統(tǒng)產(chǎn)水量進(jìn)行確定。
5、拋光混床,屬于設(shè)備的終端精制器,可以能夠?qū)⑺械碾x子含量降到ppt級別。
這些組成部分組成了我們常見的超純水設(shè)備,除了可以在半導(dǎo)體生產(chǎn)中進(jìn)行應(yīng)用外,還可以在芯片制造、太陽能產(chǎn)業(yè)、日化產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域中應(yīng)用。設(shè)備應(yīng)用的技術(shù)也在隨著我國半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而進(jìn)步,相信不久的將來我國的超純水工藝越來越精湛!
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編輯:柒柒 技術(shù):米
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